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PES 필름상에 스퍼터링한 ITO 박막의 열처리에 따른 결정화 거동 및 전기적 특성 변화
Effects of Post-Annealing on Crystallization and Electrical Behaviors of ITO Thin Films Sputtered on PES Substrates
- 소병수;
- 김영환
- 제목
- PES 필름상에 스퍼터링한 ITO 박막의 열처리에 따른 결정화 거동 및 전기적 특성 변화
- 제목 (타언어)
- Effects of Post-Annealing on Crystallization and Electrical Behaviors of ITO Thin Films Sputtered on PES Substrates
- 저자
- 소병수; 김영환
- 발행일
- 2006
- 저널명
- 한국세라믹학회지
- 권
- 43
- 호
- 3
- 페이지
- 10 ~ 10
- 출판사
- 한국세라믹학회
- 발행국가
- 대한민국
- 분량
- 1 페이지
- ISSN
- E 2234-0491
P 1229-7801