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Tunable RF 기기 적용을 위한 ALD-HfO2의 마이크로파 대역 강유전체 특성 고찰
Study on the Ferroelectric Properties of ALD-HfO2 in Microwave Band for Tunable RF Apparatus
- 한상우;
- 이창현;
- 이정해;
- 차호영
초록
본 논문에서는 tunable RF 기기에 적용이 가능한 HfO2 강유전체를 활용하여 metal-ferroelectric-metal (MFM) 커패시터를 구현하였으며 마이크로파 대역주파수 까지 전압에 따른 커패시턴스 tunability 특성을 고찰 하였다. 1kHz부터 5GHz 대역에 이르기까지 광범위한 범위의 커패시턴스-전압 특성을 분석하였으며 커패시턴스 tunability는 500 MHz 이상의 주파수에서 2.5 GHz 대역까지 ~3 %의 tunability가 유지되는 것을 확인 하여 마이크로파 주파수 대역에서 ALD HfO2기반 전자 제어 가변 커패시터의 사용 가능성을 입증하였다.
키워드
variable capacitor; frequency-dependent capacitance; ferroelectric material; HfO2; MFM capacitor
- 제목
- Tunable RF 기기 적용을 위한 ALD-HfO2의 마이크로파 대역 강유전체 특성 고찰
- 제목 (타언어)
- Study on the Ferroelectric Properties of ALD-HfO2 in Microwave Band for Tunable RF Apparatus
- 저자
- 한상우; 이창현; 이정해; 차호영
- 발행일
- 2018
- 저널명
- 전기전자학회논문지
- 권
- 22
- 호
- 3
- 페이지
- 780 ~ 785
- 언어
- KOR
- 출판사
- 한국전기전자학회
- 발행국가
- 대한민국
- 분량
- 6 페이지
- ISSN
- E 2288-243X
P 1226-7244